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空氣過濾器典型使用場所分析
空氣過濾器典型使用場所分析
1 芯片廠
當(dāng)今,半導(dǎo)體芯片廠對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度挑剔,對空氣過濾器的要求也苛
刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
芯片廠用的高效過濾器和風(fēng)機過濾單元(FFU)出廠前要經(jīng)過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它帶靜電,過濾后的空氣要進行電中和以消除離子,少了個隱患,多了個麻煩。
但當(dāng)芯片的線寬小到0.5um時,人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,后建的芯廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過濾器。芯片廠說的化學(xué)過濾器就是活性炭過濾器,它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。許多情況下,設(shè)計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,芯片廠用的化學(xué)過濾器應(yīng)具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。如果能確定污染物種類,就可對吸附材料進行有針對性的化學(xué)處理,以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù),以幫助用戶確定化學(xué)過濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過濾的專家,并與權(quán)威實驗室有密切的關(guān)系。
半導(dǎo)體工業(yè)并非“無煙工業(yè)”,它也有環(huán)境問題。為降低環(huán)境風(fēng)險,有些芯片廠的排風(fēng)系統(tǒng)也裝有化學(xué)過濾器。
2 機場空調(diào)系統(tǒng)
飛機場是賓客對城市的第一印象,機場空調(diào)系統(tǒng)表明主人的實力和空調(diào)設(shè)計師的水
平。在發(fā)達大型機場的空調(diào)系統(tǒng)中,空氣過濾器常見配置為:
G4~F6預(yù)過濾器→活性炭過濾器→F7末端過濾器
F7過濾器(Ashhae Dust-spot 85%)是上檔次的公共場所中常見過濾器。經(jīng)過F7過濾器后,空氣含塵濃度可以達到旅游景區(qū)的水平。標準中規(guī)定候機廳可吸入顆粒物的濃度上限為0.15mg/m3,這是從衛(wèi)生角度考慮的低要求,機場室外空氣也比這個濃度低.設(shè)計中,機場空調(diào)考慮的是檔次,而不僅僅是衛(wèi)生.
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