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潔凈室涂布機(jī)使用操作方法
發(fā)布時(shí)間:2011-10-14 00:00:00 瀏覽:58
潔凈室涂布機(jī)使用操作方法
1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機(jī)后面的電源插座。
2. 將涂布機(jī)的插頭插入110V的電源插座,然后按下【POWER】鍵。
3. 設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間,本機(jī)型為二段式加速的Spin Coating,右邊為第一段加速,左邊為第二段加速。
4. 依不同尺寸的基材,可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤做涂布的動(dòng)作。
5. 按下【PUMP】鍵,此時(shí)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會(huì)吸住基材,然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當(dāng)?shù)牧?,在做光阻涂開動(dòng)作時(shí)可先用氮?dú)鈱⑿D(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤周圍及基材吹乾凈。
6. 蓋上涂布機(jī)的保護(hù)蓋,以防止光阻濺出涂布機(jī)外。
7. 按下【START】鍵,涂布機(jī)便開始做涂布的動(dòng)作。
8. 涂布完畢后,打開保護(hù)蓋,按下【PUMP】鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會(huì)放開基材,便可以將基材取出。
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