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半導(dǎo)體無塵室系統(tǒng)使用操作方法

發(fā)布時間:2011-10-20 00:00:00  瀏覽:64

半導(dǎo)體無塵室系統(tǒng)使用操作方法

1.首先打開控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】、【加壓風(fēng)車運轉(zhuǎn)】、【浴塵室(風(fēng)淋室)運轉(zhuǎn)】、【排氣風(fēng)車(排氣扇)運轉(zhuǎn)】等開關(guān)。

注意:

溫度控制器及濕度控制器可由黃色鈕調(diào)整,一般溫度控制為20 DB ,濕度控制為50% RH

左側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RU】,電流切換開關(guān)為【T】。右側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RS】,電流切換開關(guān)為【OFF】。

2.將箱型空氣調(diào)節(jié)機的送風(fēng)關(guān)關(guān)打開,等送風(fēng)穩(wěn)定后再將冷氣暖氣開關(guān)打開,此時紅色燈會亮起,表示正常運作。

注意:

冷氣的起動順序為壓縮機【NO.2】。

溫度調(diào)節(jié)為指針指向紅色暖氣【5】。

分流開關(guān)AIR VALVE 為【ON】。

3.無塵室使用完畢后,要先將箱型空氣調(diào)節(jié)機關(guān)閉,按【停止】鍵即可。

4.再將控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】、【加壓風(fēng)車運轉(zhuǎn)】、【浴塵室運轉(zhuǎn)】、【排氣風(fēng)車運轉(zhuǎn)】等開關(guān)依序關(guān)閉。

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