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潔凈室標準規(guī)格說明
發(fā)布時間:2011-01-16 00:00:00 瀏覽:109
目前世界各國雖有自訂的潔凈室標準規(guī)格,但普遍還是采用美國聯邦標準209為多,今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規(guī)格。
表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規(guī)格
潔凈室級數(Class) | 微塵粒子 | 壓力 | 溫度 | 風速與換氣率(次/hr) | 照度lux | ||||||
粒子大小um | 粒子數目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 誤差值℃ | 大MAX% | 小MIN% | 誤差% | 層流方式0.35~0.55 m/s | 1080 ~ 1620 | |
1 | ≧0.5 | ≦1 | >1.3 | 19.4~25 | 22.2 | ±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 | 45 | 30 | ±10 特 殊 需 求 | ||
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