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潔凈室標準規(guī)格說明

發(fā)布時間:2011-01-16 00:00:00  瀏覽:109

目前世界各國雖有自訂的潔凈室標準規(guī)格,但普遍還是采用美國聯邦標準209為多,今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規(guī)格。


表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規(guī)格


潔凈室級數(Class)

微塵粒子壓力溫度風速與換氣率(次/hr)照度lux
粒子大小um粒子數目Particles/ft3mmAg值域℃推薦值℃誤差值℃大MAX%小MIN%誤差%

層流方式0.35~0.55 m/s

1080

~

1620

1≧0.5≦1
>1.3
19.4~25
22.2±2.8


±1.4

4530±10









































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