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潔凈室的靜電和靜電的消除方法
靜電的危害：
1、吸塵：生產(chǎn)過程中，由于靜電吸附的作用，塵埃易吸附在器件和設(shè)備表面，影響產(chǎn)品質(zhì)量，造成故障。
2、電暈放電：電暈放電時，往往伴隨著電暈噪聲，對收音機、通信機、微電子設(shè)備均會造成干擾。電暈放電會嚴(yán)重影響MOS電路和雙極性集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量。
3、引起火災(zāi)或爆炸。
4、人體帶靜電會引起電擊。
靜電的消除：
靜電是難控制的因素之一，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設(shè)備的可靠性。時間證明，在半導(dǎo)體器件的制造和測試過程中、在運輸和儲存中、在設(shè)備的安裝和調(diào)試以及使用過程中，半導(dǎo)體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，實際上所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。
消除靜電的方法有很多，對有防靜電環(huán)境要求的無塵車間工程，常用以下幾種方法：
1、選用合適的材料
采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄露的材料，多種材料共同使用時，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。
2、接地
接地時帶電導(dǎo)體消除靜電為普遍、經(jīng)濟、簡便、可靠的方法。
3、中和
將帶電體周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中和而消除靜電。
4、濕度控制
在眾多消除靜電的方法中室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來減少和消除無塵車間內(nèi)的靜電。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導(dǎo)電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。
潔凈室在許多行業(yè)是必不可少的，尤其是在微電子工業(yè)方面有著嚴(yán)格的要求，例如生產(chǎn)較高檔的電子元器件就必須要有潔凈的工作環(huán)境，有關(guān)檢測部門在檢測時也需要有潔凈的工作環(huán)境來滿足其功能。為了使這個潔凈環(huán)境能滿足生產(chǎn)、檢測等要求，我們必須克服一個不容忽視的因素，那就是靜電。
在潔凈室里生產(chǎn)的各類電器元器件，基本上都需要防靜電，因為生產(chǎn)高性能要求的產(chǎn)品時，若有靜電吸附，被吸附的微塵就成了擊穿中心，就會使材料的絕緣特性下降等。元器件、設(shè)備、甚至墻面或地板上都可能隨時產(chǎn)生靜電荷，有了靜電荷就有了靜電吸附的現(xiàn)象，導(dǎo)致潔凈室的潔凈度的下降。同時，潔凈度下降后，空氣中的微粒數(shù)量增加，這樣更加劇了靜電吸附現(xiàn)象的發(fā)生。
因此潔凈室在關(guān)注污染控制的同時也應(yīng)注意防止靜電，下面就從3方面來述說一下潔凈室靜電的防止方法。
1、防止?jié)崈羰依锂a(chǎn)生靜電
我們必須在設(shè)計和采用材料時就選用不易產(chǎn)生靜電，或產(chǎn)生靜電能迅速泄漏的材料。在以往的設(shè)計中我們?yōu)榱耸轨o電電荷有迅速逃逸的通路，往往只注重對地板的作用，即采用防靜電地板來消除靜電。并且只把系統(tǒng)電阻值限制在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的標(biāo)準(zhǔn)，目前看來是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。
現(xiàn)在歐美、日本等在設(shè)計潔凈室時已經(jīng)不局限于防靜電地板了，對潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)等都考慮在內(nèi)。目前在設(shè)計時我們也會充分考慮到防靜電的要求，如采用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電。使?jié)崈羰也划a(chǎn)生或少產(chǎn)生靜電。
2、利用潔凈室的空氣、溫濕度來控制
我們在設(shè)計潔凈室時一般利用其固有的條件來消除靜電。因為空氣濕度在RH50%左右或溫度在23℃左右條件下，其形式的空氣導(dǎo)電會有良好的防靜電環(huán)境。設(shè)計條件允許時盡量滿足靠攏它。采用離子發(fā)生器也可消除靜電和防止帶靜電等。
3、消除人體帶電
進入潔凈室的人員必須穿防靜電潔凈服、穿戴防靜電手套，穿防靜電鞋等來消除靜電。運輸周轉(zhuǎn)中的工具如小車，箱子也應(yīng)采用防靜電的產(chǎn)品。
靜電放電在很多情況下是我們所不希望的，它在具有易燃易爆氣體的場所極易導(dǎo)致危險的火災(zāi)。而且潔凈室內(nèi)的靜電對產(chǎn)品的傷害是極大的，因此，潔凈室靜電的控制是不可忽視的。
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