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無塵潔凈室空調系統(tǒng)的特點
無塵潔凈室空調系統(tǒng)的特點 無塵潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室,就是指為保持“室內要求的潔凈度等級”采用高效空氣過濾器HEPA(High Efficiency Particulate Air)或超高效空氣過濾器ULPA(Ultra Low Penetration Air)等盡力創(chuàng)造的室內空間。潔凈室按用途分類(可分為兩大類):工業(yè)潔凈室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè),按照美國聯(lián)邦標準Fed?STD?209B,規(guī)定的室內空氣潔凈度以粒徑等于及大于0.5μm的懸浮塵粒濃度為基準,按每ft3空氣中塵粒數(shù)分為100~100,000級;生物潔凈室,主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:一般生物潔凈室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。生物學安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。 首先,潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。 潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區(qū)域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以適當?shù)娘L速供應,以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果。另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。 垂直層流式方向要保持均一氣流必須: (a)吹出面的風速不可有速度上的差異; (b) |
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